Продукция
PECVD-печь для осаждения из газовой фазы
PECVD-печь для плазмостимулированного химического осаждения из газовой фазы
Описание
маркер
Назначение
Печи PECVD серии GR используют высокочастотный источник питания с частотой 13,56 МГц, который ионизирует газ, содержащий атомы компонентов плёнки, и образует плазму в вакуумной стеклянной трубке. Благодаря высокой химической активности плазмы газообразные вещества, содержащие компоненты плёнки, вступают в химическую реакцию. Оборудование предназначено для химического осаждения тонкоплёночных материалов на поверхности изделий или подложек при температуре не выше 1050 °C.
Краткое описание
Корпус изготовлен из высококачественной холоднокатаной стали, имеет двухслойную конструкцию и верхнюю открывающуюся крышку; прошёл гибку, прецизионную механическую обработку, сварку и высокотемпературную окраску.
Высокотемпературная футеровка изготовлена из различных огнеупорных волокон, неорганических и небольшого количества органических связующих, смешанных в разных пропорциях; рабочая температура — от 100 до 1600 °C.
Система контроля температуры использует интеллектуальный контроллер. Возможна настройка многосегментных программ с интеллектуальной PID-регулировкой. Нагрев, охлаждение и выдержка проходят плавно. При отключении питания или временной остановке выполнение незавершённой программы может быть продолжено с заданной температурой по умолчанию. Предусмотрена защита от обрыва термопары, перегрева и др.
Оборудование оснащено ВЧ-источником питания мощностью 300–500 Вт; комплектация может быть выполнена по требованиям заказчика.
Прецизионное многоканальное регулирование газа с массовыми расходомерами.
Давление в вакуумной камере регулируется; можно задавать требуемую степень вакуума в камере.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
| Диапазон температур | 300–1050 °C |
| Модель | GR-3-11 |
| Размеры рабочей камеры | φ60, φ80, φ100 мм (возможно изготовление по требованиям заказчика) |
| Способ нагрева | Нагрев сверху и снизу, тепловое излучение и конвекция |
| Термопара | Тип K |
| Точность регулирования температуры | ±1 °C |
| Вакуум в холодном состоянии | 10–1000 Па, регулируемый |
| Максимальная скорость нагрева | 0–20 °C/мин |
| Рекомендуемая скорость нагрева | 10 °C/мин (≤1100 °C) |
| Конструкция корпуса | Шкафная двухслойная конструкция, верхняя открывающаяся крышка печи |
| Материал футеровки | Цельная волокнистая футеровка |
| Нагревательные элементы | 0Cr27A17Mo2 |
| ВЧ-источник питания | 13,56 МГц, 300–500 Вт |
| Способ регулирования температуры | Основной контроллер температуры + регулятор мощности |
| Система защиты | Независимая защита от перегрева, защита от перегрузки по току, утечки тока и короткого замыкания |
| Примечание | Приведённые параметры высокотемпературной печи носят справочный характер. Мы также можем разработать оборудование по предоставленным вами параметрам, чтобы предложить экономичное, долговечное изделие и качественный сервис! Мы уверены, что вы сможете заказать высокотемпературную печь, полностью отвечающую вашим требованиям! Если вам интересно, позвоните для подробной консультации — будем рады обсудить с вами. |
Наши клиенты
О нашей компании
Понимание нашего производства
Сертификаты качества
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
R-образный вакуумный переходной комплект | Вакуумный переход для термопары | Герметичный
Описание продукта | R-образный вакуумный переходной комплект R-образный вакуумный переходной комплект — это важный конструкционный узел, предназначенный для обеспечения электрической изоляции и надежной передачи сигналов между вакуумной и атмосферной средами. Продукт широко используется в различных отраслях, где требуется точное измерение температуры в вакуумных условиях, и является незаменимым элементом для работы термопар типа R в вакуумных системах. Высококачественный R-образный вакуумный переход гарантирует стабильность работы и точность передачи сигнала в условиях высокого и сверхвысокого вакуумного режима.
Термопара переменного диаметра | 5 главных преимуществ сборного датчика температуры | Duchin Sensor
Содержание Общее описание термопары переменного диаметра Устройство и принцип работы Основные эксплуатационные характеристики Технические параметры Доступные типы термопар Материалы защитной гильзы Сферы промышленного применения Условия изготовления на заказ и оформление заказа
Термопара типа N до 1300°C из Inconel 600
Термопара работает на основе эффекта Зеебека: замкнутый контур, образованный двумя однородными проводниками из разных материалов, при наличии температурного градиента между двумя спаями генерирует электрический ток, а между спаями возникает термо-электродвижущая сила (ТЭДС). Величина ТЭДС зависит только от материала проводников и разности температур между спаями термопары и не зависит от длины и диаметра проводников.
Взрывозащищенные термопары: безопасное измерение температуры до 1200°C во взрывоопасных зонах
Взрывозащищенные термопары — это специализированные температурные датчики, предназначенные для эксплуатации во взрывоопасных средах, содержащих горючие газы, пары или пыль.
Термопара платина-родий типа S с фиксированным фланцем от производителя с 29-летним опытом, высокотемпературный датчик температуры
Термопара платина-родий типа S с фиксированным монтажным фланцем от производителя с 30-летним опы...
Датчики для теплосчетчиков типа PL (PT1000) для трубопроводов большого диаметра
Температурный датчик PT1000 серии PL комплектуется термометрической гильзой, что позволяет производить замену датчика под давлением без необходимости опорожнения трубопровода.
Термопары для печей и обжиговых агрегатов
Термопары для промышленных печей — это специализированные датчики температуры, разработанные для различных типов промышленных печей (таких как цементные вращающиеся печи, керамические печи, металлургические печи, стекловаренные печи и др.).
Термопара типа S (платинородий-10/платина): 1600°C высокоточный температурный датчик
Термопара типа S (платинородий-10/платина) — это высокоточный температурный датчик, в котором в качестве термоэлектродов используются сплав платины с 10% родия и чистая платина.
Термопара типа B из благородных металлов
Термопара типа B (двойная платинородиевая термопара, платина-родий 30 – платина-родий 6) Положительный электрод (BP): проволока из сплава платины и родия 70% Pt + 30% Rh Отрицательный электрод (BN): проволока из сплава платины и родия 94% Pt + 6% Rh
Вольфрам-рениевые термопары типа C (WRe5-WRe26) до 1700°C
Вольфрам-рениевые термопары типа C — это специализированные термопары, использующие термоэлектроды из сплава WRe5-WRe26 в качестве чувствительного элемента.
Однозонная трубчатая печь GXR1400 | 3 модели до 1400°C
Стандартная комплектация 1 комплект корпуса печи, 1 термопара типа S, 1 крюк для загрузки печи, 1 пара высокотемпературных перчаток, 2 пробки для трубки, 1 комплект герметичных фланцев и вакуумного блока, 1 комплект газовой системы. Возможна разработка и изготовление по индивидуальным требованиям заказчика. Для получения дополнительных спецификаций и подробного технического предложения свяжитесь с нами.
8 видов платинородиевых термопар с защитной трубкой из нитрида кремния для расплавленного металла | Производитель Duchin с 29-летним опытом
1. Введение Наша платинородиевая термопара с защитной трубкой из нитрида кремния (Si₃N₄) предназн...
100% Чистая Термоэлектродная Проволока из Благородных Металлов: Для Термопар S/R/B Типов
Термоэлектродная проволока из благородных металлов является ключевым функциональным материалом для производства высококачественных термопар, таких как S-тип (платинородий-10/платина), R-тип (платинородий-13/платина) и B-тип (платинородий-30/платинородий-6).
Вольфрам-рениевые термопары с молибденовой защитной трубкой до 2000°C
Вольфрам-рениевая термопара в молибденовой защитной гильзе (также известная как «вольфрам-рениевая термопара с молибденовой трубкой») — это специальный чувствительный элемент для измерения температуры, разработанный для применения в сверхвысокотемпературных вакуумных или инертных средах.
Термопары типа платинородий-платина
Платинородиевые термопары — это высокоточные температурные датчики из благородных металлов, в которых в качестве термоэлектродов используются сплавы платины с родием и чистая платина (или другие сплавы платины с родием в различных пропорциях).
Сборные термометры сопротивления с 4-20 мА выходом
Интегрированные термосопротивления представляют собой готовые к использованию датчики температуры, в которых чувствительный элемент (например, Pt100), модуль температурного преобразователя (трансмиттер) и клеммная головка (или блок встроенного индикатора) конструктивно объединены в единый корпус.
