Продукция
Термопара S/R для внешнего монтажа на печь 0–1000°C | Датчик внешнего контроля диффузионных печей полупроводников
Термопары для установки снаружи печи предназначены для измерения температуры с внешней стороны печной трубы и служат для косвенной оценки температуры внутри печи.
Описание
маркер
Внешняя термопара S/R для монтажа снаружи диффузионных печей
Внешняя термопара S/R — специализированный платинородиевый датчик температуры, разработанный для полупроводниковой и фотоэлектрической отрасли. Данный измерительный элемент устанавливается на внешнюю поверхность печной трубы, осуществляет косвенный контроль температурного режима внутри камеры диффузионного оборудования.
Внешняя термопара имеет одноканальную конструкцию с открытым измерительным спаем. В комплексе с внутрипечными термопарами S/R формируется система двустороннего контроля «внутри + снаружи печи», что значительно повышает точность регулирования технологического процесса обработки кремниевых пластин. Разборная компактная конструкция упрощает монтаж, разборку и плановое обслуживание датчика без остановки работы оборудования.
Технические характеристики внешней термопары S/R
| Параметр | Значение |
| Тип градуировки термопары | S, R (платина-10% родий / платина-13% родий по ГОСТ Р 8.585-2001) |
| Диаметр термоэлектродов | 0,35–0,5 мм |
| Рабочий температурный диапазон | 0–1000 °C |
| Погрешность измерения | ±1,0 °C |
| Длина защитной корундовой гильзы | 150–250 мм |
| Наружный диаметр гильзы | 4–6 мм |
| Материал защитной оболочки | Корунд (высокочистый оксид алюминия) |
| Конструкция измерительного спая | Открытый неизолированный спай, быстрый тепловой отклик |
| Количество измерительных точек | 1 точка (одноканальное исполнение) |
| Тип подключения | Стандартный миниатюрный разъем |
| Компенсационный кабель | SC-2×0,5FPF |
| Конструктивная особенность | Разборное исполнение, простая фиксация на внешней трубе печи |
Основные эксплуатационные преимущества внешней термопары S/R
Стабильность измерений при высоких температурах Термоэлектроды из благородных платинородиевых сплавов и корундовая защитная гильза обеспечивают стабильный сигнал в диапазоне до 1000°C, отсутствие дрейфа показаний при длительных циклах нагрева. Материал корунда устойчив к окислению и механическим повреждениям при монтаже на печную трубу.
Двойной контроль температуры в комплексе с внутрипечными датчиками Совместное использование внешней и внутренней термопары позволяет отслеживать разницу температур между стенкой трубы и рабочей зоной печи. Это исключает погрешности регулирования и предотвращает брак кремниевых пластин на производственной линии.
Удобство монтажа и обслуживания Разборная конструкция датчика не требует полной остановки печи для замены или калибровки. Компактные габариты позволяют установить термопару на любые типы диффузионных труб без изменения штатной компоновки оборудования.
Адаптация под чистые производственные зоны Компоненты термопары не выделяют загрязняющих частиц, соответствуют санитарным нормам цехов микроэлектроники, не оказывают негативного влияния на технологический процесс выращивания кремниевых заготовок.
Области применения внешней термопары S/R
Диффузионные печи полупроводникового производства
Оборудование для изготовления фотоэлектрических кремниевых пластин
Линии термообработки микрочипов и полупроводниковых компонентов
Системы внешнего температурного мониторинга высокотемпературного печного оборудования
Все наши термопары соответствуют российским метрологическим стандартам и имеют сертификат ЕАС. При необходимости мы производим индивидуальные модификации датчика под параметры оборудования заказчика: корректируем длину гильзы, тип крепления и длину компенсационных проводов.
Наши клиенты
О нашей компании
Понимание нашего производства
Сертификаты качества
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Производственная печь для удаления связующего и предварительного обжига 1200°C | Серия XR
Производственная универсальная печь для удаления связующего и предварительного обжига серии XR — это высококачественное промышленное оборудование на 1200 °C.
Износостойкие термопары
Износостойкие термопары представляют собой специализированные датчики температуры, разработанные для работы в условиях интенсивного абразивного износа: при высоких температурах, высокой скорости потока и воздействии абразивных частиц.
Двусторонний пресс-печь для спекания под давлением (до 2200°C) для керамики и металлов
Спекание под давлением и нагревом металлических соединений, керамики (нитрид бора, карбид кремния, нитрид кремния), наноматериалов неорганических соединений и других материалов в условиях вакуума или инертной защитной атмосферы.
Внешнеобогреваемая вакуумная печь GR-10-09 900℃ для термообработки и спекания
Данная серия изделий подходит для предварительной обработки стеклянного порошка, сварки стеклянных пластин, отжига световых стержней, удаления связующего в защитной азотной атмосфере подложек из нитрида кремния, спекания керамических медных ламинированных плит, вакуумной пайки и всех предварительных испытаний с требованиями высокотемпературной обработки.
Гибкий кабельный термопар | 4 типа изоляции для поверхностного замера температуры до 500°C
Гибкий кабельный термопар Основное описание Гибкий кабельный термопар (плетеный/поверхностный датчик температуры) — компактный гибкий термопреобразователь для замера температуры в узких пространствах при температуре до 500 °C. Без металлической защитной гильзы, состоит из изолированного термопарного кабеля и измерительного наконечника.
Термопара типа N до 1300°C из Inconel 600
Термопара работает на основе эффекта Зеебека: замкнутый контур, образованный двумя однородными проводниками из разных материалов, при наличии температурного градиента между двумя спаями генерирует электрический ток, а между спаями возникает термо-электродвижущая сила (ТЭДС). Величина ТЭДС зависит только от материала проводников и разности температур между спаями термопары и не зависит от длины и диаметра проводников.
K-Type взрывозащищенный термоэлемент до 1300°C
Термоэлемент работает на основе термоэлектрического эффекта: замкнутый контур формируется двумя разными проводниками (NiCr-NiSi). При наличии перепада температур между двумя спаями в контуре возникает термоэдс, по значению которой определяется температура измеряемой среды.Устройство предназначено для работы в окислительной среде и используется преимущественно для измерения температур технологических процессов ниже 1300 °C. Сигнал температуры может передаваться через коммуникационные интерфейсы, включая последовательный порт.
Двухэлементное платиновое термосопротивление Pt100 (-200~850°C)
Сдвоенное платиновое термосопротивление — это высокоточный датчик температуры, в котором два независимых платиновых чувствительных элемента интегрированы в одну общую защитную гильзу.
Лабораторная атмосферная печь 1400-1600°C | Резистивная печь с нагревом на стержнях дисилицида молибдена, с вакуумной откачкой и заполнением атмосферы
1. Описание продукта Эта лабораторная атмосферная печь использует стержни дисилицида молибдена (с...
Вольфрам-рениевые термопары для печей PVA до 2000°C
Специализированные вольфрам-рениевые термопары для печей PVA — это специальные чувствительные элементы, разработанные для серии вакуумных печей PVA (печи спекания, горячего прессования, отжига).
Датчики для теплосчетчиков типа DS (PT1000) с точностью до 0,06°C
Датчик PT1000 серии DS обладает преимуществами высокой стабильности, виброустойчивости и точной спаренной калибровки по сравнению со стандартными датчиками PT1000.
Термопара S-типа из драгоценных металлов до 1600°C
Работает на основе термоэлектрического эффекта (эффекта Зеебека). Термоэдс, возникающая между положительным электродом (сплав платины с родием 10 %) и отрицательным электродом (чистая платина) термопары S-типа при наличии перепада температур, преобразуется интегрированным преобразовательным модулем в стандартный электрический сигнал (например, 4–20 мА), обеспечивая точную передачу и сбор сигналов высоких температур.
Термопары для автомобильных двигателей
Термопара для автомобильных двигателей представляет собой специализированный датчик переменного диаметра.
Датчики для теплосчетчиков типа DL (PT500) с сопротивлением 500 Ом
Датчик PT500 — ключевой тип платинового термосопротивления, основной характеристикой которого является стандартное сопротивление 500 Ом при 0°C. Принцип точного измерения основан на линейной зависимости сопротивления платины от температуры.
Низковакуумная однозонная трубчатая печь 400-1050°C | 5 моделей, вакуум 6×10⁻¹ Па
Высокотемпературная камера печи изготовлена из различных огнеупорных волокон, смешанных с неорганическими и небольшим количеством органических связующих в разных пропорциях; рабочая температура — от 500 до 1250 °C.
Взрывозащищенные термопары: безопасное измерение температуры до 1200°C во взрывоопасных зонах
Взрывозащищенные термопары — это специализированные температурные датчики, предназначенные для эксплуатации во взрывоопасных средах, содержащих горючие газы, пары или пыль.
