Продукция
Внутрипечная термопара S/R 3–9 точек для полупроводниковых диффузионных печей | Высокоточное измерение кремниевых пластин ЕАС
Термопары для установки внутри печи предназначены для прямого измерения температуры кремниевых пластин непосредственно в рабочем объеме печи.
Описание
маркер
Внутрипечная термопара для полупроводниковых печей
Наша внутрипечная термопара типов S и R разработана специально для эксплуатации внутри диффузионных, окислительных и отжиговых печей полупроводниковой отрасли. Данная внутрипечная термопара предназначена для прямого прецизионного измерения температуры кремниевых пластин непосредственно в рабочем объеме оборудования.
В стандартном исполнении внутрипечная термопара имеет многоканальную конструкцию с 3–9 отдельными измерительными точками. Такое решение позволяет строить точный температурный профиль по всей поверхности кремниевой пластины, полностью контролируя соблюдение технологического режима термообработки.
Эта внутрипечная термопара сочетает в себе ключевые эксплуатационные качества: высокая стабильность показаний, минимальная погрешность измерений, быстрый тепловой отклик, устойчивость к электромагнитным помехам цехового оборудования, стойкость к резким термическим ударам и увеличенный срок непрерывной службы. Все компоненты внутрипечной термопары подобраны с учетом строгих норм чистых производственных зон, они не выделяют посторонних примесей и не загрязняют кремниевые заготовки во время процесса.
Технические параметры внутрипечной термопары S/R
| Параметр | Внутрипечная термопара для диффузионных печей (S/R) | Внутрипечная термопара для окислительных печей (K/N) |
| Тип градуировки термопары | S, R | K, N |
| Диаметр термоэлектродов / оболочки | 0,35–0,5 мм | 2–4 мм |
| Рабочий температурный диапазон | 0–1100 °C | 0–950 °C |
| Погрешность измерения | ±1,0 °C | ±1,5 °C или 0,4% от измеряемой температуры |
| Максимальная длина защитной гильзы | ≤ 4000 мм | ≤ 4000 мм |
| Диаметр защитной гильзы | 12–18 мм | 14–22 мм |
| Материал защитной гильзы | Кварц (химически инертный материал для чистых цехов) | Нержавеющая сталь марок 310S / 321 |
| Конструкция измерительного спая | Открытый неизолированный спай, обеспечивающий быстрый тепловой отклик | Изолированный спай, защищенный от короткого замыкания |
| Количество измерительных точек | 3–6 точек | 3–9 точек |
| Тип разъема подключения | Миниатюрный разъем стандартного образца | Миниатюрный разъем стандартного образца |
| Используемые компенсационные провода | SC-2×0.5FPF | KX(NX)-2×0.5FPF |
| Конструктивная особенность | Сложная комбинированная сборка по индивидуальным чертежам заказчика | Свободная комбинация отдельных каналов под задачи производства |
Преимущества нашей внутрипечной термопары
Стабильность точности при высоких температурах Благородные металлы, используемые при изготовлении внутрипечной термопары S/R, обеспечивают идеальную линейность температурной характеристики и минимальную погрешность измерений. Это полностью удовлетворяет строгим требованиям прецизионного контроля процессов микроэлектронного производства.
Полное индивидуальное изготовление Мы производим внутрипечную термопару с любым требуемым диаметром и длиной зонда, адаптируем систему крепления под конструктивные особенности любых моделей полупроводниковых печей. Все параметры изделия согласовываются с инженерами заказчика на этапе проектирования.
Адаптация под чистые производственные линии Конструкция и материалы внутрипечной термопары оптимизированы для работы в условиях повышенных температур и строгих санитарных норм цехов. Отсутствие выделяемых примесей исключает риск порчи кремниевых пластин и сбоев технологического цикла.
Стойкость к постоянным эксплуатационным нагрузкам Внутрипечная термопара выдерживает многократные перепады температур, не реагирует на электромагнитные помехи промышленного оборудования. Благодаря этому снижается частота замен датчиков и простои производственной линии.
Области применения внутрипечной термопары
Диффузионные печи полупроводникового производства
Окислительные печи для обработки кремниевых пластин
Печи термического отжига микроэлектронных компонентов
Линии прецизионного температурного контроля в чистых комнатах
Наш ассортимент измерительных датчиков соответствует действующим российским метрологическим стандартам
Наши клиенты
О нашей компании
Понимание нашего производства
Сертификаты качества
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Бронированный кабель для термопары (-200~1300°C) | Металлическая оболочка, гибкий промышленный
Термопарный кабель в металлической оболочке представляет собой гибкий измерительный кабель, в котором термоэлектродная проволока, изоляционный материал и металлическая защитная оболочка интегрированы в единую монолитную конструкцию.
Двухоболочечный термопара типа K до 1200°C
Двухпарадная конструкция — два независимых термопарных провода одновременно собирают температурные сигналы: это обеспечивает взаимопроверку данных и резервное копирование, гарантируя непрерывность измерения температуры в крайних ситуациях.
5 преимуществ: Высококачественная термопара типа K с силиконовой изоляцией – промышленный датчик температуры для монтажа
Высококачественная термопара K-типа с силиконовой изоляцией — это классический сборный датчик температуры из группы термопар на основе основных металлов. По сравнению с датчиками с изоляцией из ПВХ или тефлона, данная модель отличается более широким диапазоном рабочих температур и повышенной устойчивостью к изгибу, что обеспечивает надёжную непрерывную работу в промышленном оборудовании.
Двусторонний пресс-печь для спекания под давлением (до 2200°C) для керамики и металлов
Спекание под давлением и нагревом металлических соединений, керамики (нитрид бора, карбид кремния, нитрид кремния), наноматериалов неорганических соединений и других материалов в условиях вакуума или инертной защитной атмосферы.
Производственная печь для удаления связующего и предварительного обжига 1200°C | Серия XR
Производственная универсальная печь для удаления связующего и предварительного обжига серии XR — это высококачественное промышленное оборудование на 1200 °C.
Керамическая термопара типов S/R/B до 1700°C
Благородные металлические термопары, обладающие наивысшей точностью измерений, считаются эталонными термопарами. К ним относятся типы S, R и B, они почти всегда имеют сборочную конструкцию.Максимальная точность: ±1 °C.Максимальная рабочая температура: 1700 °C (тип B).Керамические термопары применяются в основном в оксидных средах, преимущественно в высокотемпературных печах.
Лабораторная атмосферная печь 1400-1600°C с нагревом MoSi₂ и вакуумной системой
Лабораторная атмосферная печь является специализированным оборудованием для высокотемпературной термообработки. Наша модель оснащена нагревательными элементами из дисилицида молибдена (MoSi₂), обеспечивает стабильную работу в диапазоне 1400–1600 °C и поддерживает вакуумную откачку с последующей обратной подачей защитного газа как азота, что идеально для спекания керамики, обработки металлов и других процессов, требующих контролируемой атмосферы.
Вольфрам-рениевые термопары типа C (WRe5-WRe26) до 1700°C
Вольфрам-рениевые термопары типа C — это специализированные термопары, использующие термоэлектроды из сплава WRe5-WRe26 в качестве чувствительного элемента.
Вакуумная трубчатая атмосферная резистивная печь
Серия вакуумных трубчатых печей GXR работает в температурном диапазоне 400–1700 °C.Это высокотемпературная печь, предназначенная для спекания образцов в вакууме или в защитной газовой атмосфере.В качестве материала труб могут использоваться: жаропрочные сплавные трубы, высокочистые кварцевые трубы, высокочистые оксидно алюминиевые (керамические) трубы. С обоих концов трубы предусмотрены фланцы для подключения вакуумной системы.Образцы загружаются в рабочую камеру через торцевые отверстия труб.
Высокоточная термопара типа R: 5 причин выбрать для высокотемпературных измерений
Термопара типа R из благородных металлов (платинородий-13/платина) представляет собой высокоточный температурный датчик, в котором в качестве термоэлектродов используются сплав платины с родием и чистая платина.
Термопары типа платинородий-платина
Платинородиевые термопары — это высокоточные температурные датчики из благородных металлов, в которых в качестве термоэлектродов используются сплавы платины с родием и чистая платина (или другие сплавы платины с родием в различных пропорциях).
Мультиточечные термопары на 1–40 точек | Промышленный датчик температуры высокой точности
Мультиточечные термопары – это интегрированные многоканальные датчики температуры, в единой защитной оболочке которых размещено несколько спаев для измерения температуры. В отличие от обычных одноточечных термопар мультиточечные термопары позволяют одновременно собирать температурные показания из 2–40 разных позиций внутри одного технологического оборудования. Это решение полностью устраняет распространенную проблему промышленности – контроль слоевого температурного градиента в химических реакторах, резервуарах для хранения сырья и протяженных технологических трубопроводах. Мультиточечные термопары бренда Duchin полностью изготавливаются по индивидуальным требованиям заказчика. Мы регулируем количество точек измерения, шаг между точками, общую длину измерительного зонда и тип термопарного провода. Данные промышленные датчики широко востребованы в нефтехимической, химической, металлургической отрасли, энергетике и лабораторных тепловых испытаниях.
Броневая термопара типа K датчик температуры | 6 преимуществ промышленный зонд для высоких температур
Броневая термопара типа K датчик температуры – самый доступный и универсальный базовый металлический сенсор для измерения высоких температур в промышленности.
Вольфрам-рениевые термопары с молибденовой защитной трубкой до 2000°C
Вольфрам-рениевая термопара в молибденовой защитной гильзе (также известная как «вольфрам-рениевая термопара с молибденовой трубкой») — это специальный чувствительный элемент для измерения температуры, разработанный для применения в сверхвысокотемпературных вакуумных или инертных средах.
Атмосферная печь для лаборатории SiC 1100-1400℃ | Коробчатая вакуумная печь с защитой азотом
Атмосферная печь для лаборатории SiC 1100-1400℃ | Коробчатая вакуумная печь с защитой азотом 1. ...
Гибкий кабельный термопар | 4 типа изоляции для поверхностного замера температуры до 500°C
Гибкий кабельный термопар Основное описание Гибкий кабельный термопар (плетеный/поверхностный датчик температуры) — компактный гибкий термопреобразователь для замера температуры в узких пространствах при температуре до 500 °C. Без металлической защитной гильзы, состоит из изолированного термопарного кабеля и измерительного наконечника.
